研究紹介
集積光マイクロシステムを目指した先端光実装技術
次世代の情報システムを実現するうえで鍵を握る光マイクロ実装技術を研究しています。特に、多様な光素子を高密度集積するための異種材料接合技術、マイクロバンプ形成技術、およびこれら先端光実装技術を駆使した光マイクロセンサの研究を行っています。
- 光集積技術
- 異種材料接合技術
- マイクロバンプ形成プロセス
- ウェハレベルパッケージング
- 光マイクロセンサ
- 光マイクロマシン(MEMS)
精密工学科/精密工学専攻 関連教員
氏名 | 日暮 栄治 (HIGURASHI, Eiji) |
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所属 | 精密工学専攻 |
専門分野 | 光マイクロシステム、光実装 |
研究室HP | http://www.su.t.u-tokyo.ac.jp/ |
※本学ドメインのEメールアドレスは、[at]を@に変えて、後ろにu-tokyo.ac.jpをつけてください
次世代の情報システムを実現するうえで鍵を握る光マイクロ実装技術を研究しています。特に、多様な光素子を高密度集積するための異種材料接合技術、マイクロバンプ形成技術、およびこれら先端光実装技術を駆使した光マイクロセンサの研究を行っています。