研究紹介
超精密計測における新しい原理開拓への挑戦
これまで測定が困難であった微細スケールの精密計測、加工環境におけるインプロセス・オンマシン計測、超高精度計測を実現するための知的計測原理および精密計測原理の確立を目指した研究を行っています。特に、光学現象を利用した従来の計測性能を凌駕する新しい計測原理の探求を行なっています。
- 原子スケール分解能を持つリニアスケールの研究
- 光共振／光周波数コムを用いた形状標準の計測に関する研究
- 蛍光を用いた新規３次元形状計測に関する研究
- マイクロ／ナノファイバーのインプロセス計測に関する研究