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精密工学科／精密工学専攻 関連教員

三村 秀和 教授［超精密加工］

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氏名 三村 秀和 （MIMURA, Hidekazu）
所属 先端科学技術研究センター
専門分野 超精密加工、X線光学
研究室HP https://www.upm.rcast.u-tokyo.ac.jp/
Eメール（※） mimura[at]upm.rcast.

※本学ドメインのEメールアドレスは、[at]を@に変えて、後ろにu-tokyo.ac.jpをつけてください

研究紹介

超精密加工で最先端科学を支える

表面科学現象、電気化学反応などさまざまな物理・化学現象を利用した、新しい超精密加工プロセスの開発を進めています。Ｘ線光学素子作製へ応用し、太陽観察用のX線望遠鏡や細胞を高分解能で観察可能なX線顕微鏡の開発を行っています。また、放射光施設SPring-8の強力なX線を用いて加工現象の観察を行っています。

  • ナノ精度加工・計測・転写プロセスの構築
  • X線顕微鏡、X線望遠鏡の開発
  • 放射光X線による加工現象の観察

教員紹介