精密測定と標準−超高精度を目指す知的ナノ計測

ナノメートルからキロメートルまで、マイクロマシンから人体までの幅広い対象の形状や寸法を精密に測定、評価し、計測標準を確立することを目指しています。

• 知的精密技術による超高精度測定の基礎研究
• 三次元座標計測における測定の不確かさの推定
• 複雑な三次元メカニズムのキャリブレーション
• 新しい測定システムの開発：ナノメートル三次元測定機／ナノメートル非球面形状測定機
• ナノテクノロジーにおける標準の確立