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精密工学科／精密工学専攻 関連教員

道畑 正岐 准教授［精密計測工学］

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氏名 道畑 正岐 （MICHIHATA, Masaki）
所属 精密工学専攻
専門分野 3次元形状計測、インプロセス計測、光応用計測
研究室HP http://www.photon.rcast.u-tokyo.ac.jp
Eメール（※） michihata[at]nanolab.t.

※本学ドメインのEメールアドレスは、[at]を@に変えて、後ろにu-tokyo.ac.jpをつけてください

研究紹介

超精密計測における新しい原理開拓への挑戦

これまで測定が困難であった微細スケール対象の計測、加工環境におけるインプロセス・オンマシン計測、超高精度計測を実現するため、知的計測原理および精密計測原理の確立を目指した研究を行っています。

  • 光共振を用いた形状標準の計測に関する研究
  • 超高精度３次元形状計測に関する研究
  • マイクロ／ナノファイバーのインプロセス計測に関する研究
  • 光放射圧を用いたナノ加工・計測に関する研究

教員紹介