研究紹介
未来のマイクロ・ナノデバイス−その要素と構成
高機能化・高集積化のバイオセンサーチップの実現を目指して、半導体加工技術と機械的なマイクロ加工技術、自己組織化を利用するボトムアップアプローチ手法を融合したナノ構造・デバイスの製作およびそのバイオセンサとしての応用に関する研究を行っています。
- シャドウマスクを用いた多機能マイクロ・ナノパターニング
- 自己組織化単分子膜を用いたナノコンタクトプリンティング
- 保存可能な機能的マイクロプロテインチップの開発
- 単一細胞の電気・物理的特性を測るMEMSデバイスの開発
- 積層流を用いた電気鍍金法によるマイクロ構造物の製作