略歴：1938年生。1967年東京大学大学院精密工学専攻博士課程修了。東京大学生産技術研究所教授、 先端素材開発研究センター長、理化学研究所研究基盤技術部長(兼)などに就任。型 技術協会、プラスチック成形加工学会、プリント回路学会の創立に関与し各会長を歴 任。在職30余年中に幾つかの新しい加工技術・加工装置を開発し、精密工学会賞、大 河内記念技術賞、ASME/SME Merchant Prize等を授賞。1999年停年退官。2000 年ファインテック�鰍�起業し代表取締役、同時に現在幾つかの社外取締役・技術顧 問・財団理事、JST-PO等を兼務。

略歴：1932年生。東京都出身。1956年東京大学工学部精密工学科卒業、同年日本光 学工業株式会社（現ニコン）入社。超LSI製造用縮小投影露光装置（ステッパー）1号機の 開発責任者を務め、精機事業部長等を経て1997年取締役社長、2001年取締役会長兼 CEOに就任。2005年より現職。社外では、社団法人日本半導体製造装置（SEAJ）、 精密工学会等の会長を歴任後、現在は日本光学工業協会、日本望遠鏡工業会、新技術 協会等外部団体会長。1991年藍綬褒章、2003年フランスより、レジオンドヌール賞 を受章。2006年IEEE（米国電気電子学会）よりロバート・Ｎ・ノイズ・メダルを受賞。