研究紹介
超精密加工で最先端科学を支える
表面科学現象、電気化学反応などさまざまな物理・化学現象を利用した、新しい超精密加工プロセスの開発を進めています。また、X線光学素子作製へ応用し、SPring-8、X線自由電子レーザーなどの放射光施設において、高精度ミラーを用いたX線集光・イメージングシステムの設計・開発を行っています。
- ナノ精度加工プロセスの構築
- ナノ精度形状転写プロセスの構築
- 高精度X線光学素子の作製・評価
- X線集光・イメージングシステムの設計・開発
精密工学科/精密工学専攻 関連教員
氏名 | 三村 秀和 (MIMURA, Hidekazu) |
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所属 | 精密工学専攻 |
専門分野 | 超精密加工、X線光学 |
研究室HP | http://webpark1181.sakura.ne.jp/mimuralab/ |
Eメール(※) | mimura[at]edm.t. |
※本学ドメインのEメールアドレスは、[at]を@に変えて、後ろにu-tokyo.ac.jpをつけてください
表面科学現象、電気化学反応などさまざまな物理・化学現象を利用した、新しい超精密加工プロセスの開発を進めています。また、X線光学素子作製へ応用し、SPring-8、X線自由電子レーザーなどの放射光施設において、高精度ミラーを用いたX線集光・イメージングシステムの設計・開発を行っています。