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精密工学科/精密工学専攻 関連教員

三村 秀和 准教授[超精密加工]

三村 秀和
氏名 三村 秀和 (MIMURA, Hidekazu)
所属 精密工学専攻
専門分野 超精密加工、X線光学
研究室HP http://www.edm.t.u-tokyo.ac.jp/
Eメール(※) mimura[at]edm.t.

※本学ドメインのEメールアドレスは、[at]を@に変えて、後ろにu-tokyo.ac.jpをつけてください

研究紹介

超精密加工で最先端科学を支える

表面科学現象、電気化学反応などさまざまな物理・化学現象を利用した、新しい超精密加工プロセスの開発を進めています。また、X線光学素子作製へ応用し、SPring-8、X線自由電子レーザーなどの放射光施設において、高精度ミラーを用いたX線集光・イメージングシステムの設計・開発を行っています。

  • ナノ精度加工プロセスの構築
  • ナノ精度形状転写プロセスの構築
  • 高精度X線光学素子の作製・評価
  • X線集光・イメージングシステムの設計・開発

教員紹介