超精密加工で最先端科学を支える

表面科学現象、電気化学反応などさまざまな物理・化学現象を利用した、新しい超精密加工プロセスの開発を進めています。また、Ｘ線光学素子作製へ応用し、SPring-8、Ｘ線自由電子レーザーなどの放射光施設において、高精度ミラーを用いたＸ線集光・イメージングシステムの設計・開発を行っています。

• ナノ精度加工プロセスの構築
• ナノ精度形状転写プロセスの構築
• 高精度Ｘ線光学素子の作製・評価
• Ｘ線集光・イメージングシステムの設計・開発